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产品页：法高（Fogale）公司 镜面定位仪Lenscan |
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Fogale(法高)纳米技术公司是来自法国的光学测量设备制造商，成立于1983年。其镜面定位仪LenScan是一种非接触测量光学表面间距离的仪器，它基于短相干光源的干涉技术,可以沿中心线穿过光学元件，测量镜头间隙、元件中心厚度，精度可达1um ；应用于大口径反射镜子镜拼接定位、小尺寸物镜镜头的装配等。 |
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短距离测量 |
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参 数 |
LISE-ED4 |
LISE-LS40 |
LISE-200 |
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4mm |
40mm |
200mm |
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+/-1um |
+/-1um |
+/-1um |
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150uW @ 1310nm |
150uW @ 1310nm |
16mW @ 1310nm |
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100Hz |
1-5 s |
1-10 s |
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红色激光 |
红色激光 |
红色激光 |
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长距离测量 |
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参 数 |
LISE-LS400 |
LISE LI600 |
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400mm
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600mm光学厚度 |
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+/-1um |
+/-0.1um @ 100mm光学厚度 |
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1-20s |
30s |
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16mW @ 1310nm |
16mW @ 1310nm |
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红色激光 |
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准直器 |
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- 小口型（f=3.3mm）
- 标准型（f=12.5mm）
- 可调焦距型（f=44mm）
- 选项：
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应用 |
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- 位置测量
- 绝对测量探测器与表面距离：0.1um -- >10m
- 实时定位，在线变形测量和水平测量
- >>实例：
- 测量玻璃在１６００°C的熔融水平面
定位望远镜镜面
- 厚度测量
- 半透明／透明材料：直接与非直接测量（一项针对在线测量的专利）
- 采用光学音叉传感器测量平面元件的厚度
- >>实例：
- 在线控制电视屏厚度
在线控制薄玻璃片的抛光操作
实时控制石英或硅片的刻蚀过程
- 定位界面
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