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光学轮廓仪
发布时间:03-15  信息来源:欧唐科技

      对于光学表面的评价,可以有两个重要指标:表面面形和表面粗糙度。一般地,光学表面面形通过干涉仪来测量;而粗糙度一般采用光学轮廓仪或扫描探针显微镜测量。我们这里主要讨论粗糙度的测量问题。
      对于小尺寸元件来说,这些方法都是可行的。然而,对于大尺寸元件,比如口径大于300mm或500mm甚至1m的元件,很多方法都受到了测量环境的限制。
      除粗糙度要求接近0.1nm RMS的表面外,一般光学表面都采用光学轮廓仪测量。这种方法比较直接,操作简单。但是在使用中,都要求在隔振平台。这是由于这类仪器的原理导致的,虽然是近距离的测量,但是振动会对这种纳米级测量带来噪声误差,从而导致测量失败。
      光学轮廓仪对于振动噪声的要求,比普通干涉仪更苛刻,因为起分辨率要求在纳米级。因而很难做出满足要求的大尺寸的隔振平台。这也限制了轮廓仪测量的元件的尺寸。因此,目前对于大尺寸的光学元件的粗糙度测量,一般无法直接测量。
      4D公司的动态光学轮廓仪NanoCam Sq,就是在这种情况下出现的。 这台设备在2011年的美国光博会上首次亮相。这台设备主要解决了两个测量难题:1)复杂现场环境下的粗糙度测量;2)大尺度镜面的粗糙度测量。
      原理: 经典的显微相移干涉原理(PSI),只是在同一时间获得所有的相位信息。4D将他们的动态相移干涉技术扩展到了显微干涉术,从而开发出了这种动态光学轮廓仪。

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